- Simple route to micro and nanopartterning - nano imprint lithography
Počet záznamov: 1  

Simple route to micro and nanopartterning - nano imprint lithography

  1. Údaje o názveSimple route to micro and nanopartterning - nano imprint lithography / aut. Jaroslava Škriniarová, Juraj Nevřela, J Baumgartner
    Záhlavie-meno Škriniarová, Jaroslava, 1954- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Ďal.zodpovednosť Nevřela, Juraj, 1989- Z3 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Baumgartner, J. (Autor)
    In ADEPT 2018 [234 s.] / International conference on Advances in electronic and photonic technologies (Adept 2018). -- Bratislava : Vydavateľstvo Spektrum STU, 2018. -- ISBN 978-80-554-1450-8. -- S. 45-48
    Predmet.heslá Nanoimprint lithography
    mr-UVCur21-photo-curable imprint resist
    Jazyk dok.angličtina
    Druh dok.RZB - článok zo zborníka
    KategóriaAFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
    Kategória od 2022V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
    Rok2018
    článok

    článok

Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.