Počet záznamov: 1
New chemical pathway for large-area deposition of doped diamond films by linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition
Údaje o názve New chemical pathway for large-area deposition of doped diamond films by linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition / aut. Marián Marton, Marian Vojs, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Vlastimil Řeháček, Michal Pifko, Štěpán Stehliík, Alexander Kromka Záhlavie-meno Marton, Marián, 1980- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Ďal.zodpovednosť Vojs, Marian, 1979- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Michniak, Pavol, 1986- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Behúl, Miroslav, 1989- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Řeháček, Vlastimil, 1957- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Pifko, Michal, 1995- (Autor) Stehlík, Štěpán (Autor) Kromka, Alexander, 1971- Z8 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky In Diamond and Related Materials. -- ISSN 0925-9635. -- Vol. 126, (2022), Art. no. 109111 [9] s. Predmet.heslá boron doped diamond large area deposition Trimethyl borate Linear antenna microwave CVD Jazyk dok. angličtina URL https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092596352200293X Druh dok. RBX - článok z periodika Kategória ADC - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch Kategória od 2022 V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok V databázach CC: 000811816400002
WOS: 000811816400002
DOI: 10.1016/j.diamond.2022.109111
SCOPUS: 2-s2.0-85131423983Rok 2022 
článok
Počet záznamov: 1