Title information : Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching / aut. Marián Marton, Mário Ritomský, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Vlastimil Řeháček, Robert Redhammer, Andrej Vincze, Martin Papula, Marian Vojs Variant heading : \q12*stu_us_auth*1 stu50362 \q \q1013 stu_us_auth*stu50362 \d Marton Marián \q ; 033000  %continue : \q12*stu_us_auth*1 0016260 \q \q1013 stu_us_auth*0016260 \d Ritomský Mário \q \q12*stu_us_auth*1 stu81363 \q \q1013 stu_us_auth*stu81363 \d Michniak Pavol \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu127564 \q \q1013 stu_us_auth*stu127564 \d Behúl Miroslav \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu36850 \q \q1013 stu_us_auth*stu36850 \d Řeháček Vlastimil \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu7401 \q \q1013 stu_us_auth*stu7401 \d Redhammer Robert \q \q12*stu_us_auth*1 stu34909 \q \q1013 stu_us_auth*stu34909 \d Vincze Andrej \q \q12*stu_us_auth*1 0043568 \q \q1013 stu_us_auth*0043568 \d Papula Martin \q \q12*stu_us_auth*1 stu45741 \q \q1013 stu_us_auth*stu45741 \d Vojs Marian \q ; 033000 In : \q12**1 0076374 \q %continue : Vacuum %continue : . Vol. 170, (2019), Art. no. 108954 [6] s. Subject : \q12*stu_us_auth*1 0005949 \q \q1013 stu_us_auth*0005949 \d boron doped diamond \q \q12*stu_us_auth*1 0043567 \q \q1013 stu_us_auth*0043567 \d plasma etching \q \q12*stu_us_auth*1 0043569 \q \q1013 stu_us_auth*0043569 \d Self-masking \q \q12*stu_us_auth*1 0043570 \q \q1013 stu_us_auth*0043570 \d nanostructured surface \q URL : https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X18324588 Document kind : článok zo zborníka Category : ADC - Scientific titles in foreign carented magazines and noticed year-books Category (from 2022) : V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu